集成电路用氧化层缓冲腐蚀液

SJ/T 11507-2015现行行业标准

标准状态

发布于：2015-04-30

实施于：2015-10-01

废止

标准号SJ/T 11507-2015

标准状态现行

发布日期2015-04-30

实施日期2015-10-01

中国标准分类号L90 电子技术专用材料

国际标准分类号31.030 电子技术专用材料

发布部门工业和信息化部

技术归口全国半导体设备和材料标准化技术委员会

起草单位江阴润玛电子材料股份有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院

起草人戈士勇、何珂、王周霞等

本标准规定了集成电路用氧化层缓冲腐蚀液的术语、性状、技术要求、试验方法、检验规则和包装、标志、储存、运输等。本标准适用于集成电路用氧化层缓冲腐蚀液。本标准不涉及使用安全性问题。本标准的使用人应负责建立适当的安全健康条款及使用范围的限制。