碳化硅单晶晶型的测试方法
标准状态
发布于：2015-04-30
实施于：2015-10-01
废止
基本信息
SJ/T 11501-2015
现行
2015-04-30
2015-10-01
工业和信息化部
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
中国电子科技集团公司第四十六研究所、工业和信息化部电子工业标准化研究院
丁丽、郝建民、周智慧 等
标准简介
本标准规定了利用拉曼光谱定碳化硅单晶结晶类的方法。 本标准适用于碳化硅单晶晶型的测定。
内容预览
本标准规定了利用拉曼光谱定碳化硅单晶结晶类的方法。 本标准适用于碳化硅单晶晶型的测定。