碳化硅单晶抛光片表面质量的测试方法

SJ/T 11504-2015现行行业标准

标准状态

发布于：2015-04-30

实施于：2015-10-01

废止

标准号SJ/T 11504-2015

标准状态现行

发布日期2015-04-30

实施日期2015-10-01

中国标准分类号H83 化合物半导体材料

国际标准分类号29.045 半导体材料

发布部门工业和信息化部

技术归口全国半导体设备和材料标准化技术委员会

起草单位中国电子科技集团公司第四十六研究所、工业和信息化部电子工业标准化研究院

起草人丁丽、周智慧、蔺娴等

本标准规定了碳化硅单晶抛光片（以下简称“抛光片”）表面质量的目视检验方法。本标准适用于单面或者双面抛光的碳化硅单晶抛光片表面质量的检测。