蓝宝石单晶抛光片规范

SJ/T 11505-2015现行行业标准

标准状态

发布于：2015-04-30

实施于：2015-10-01

废止

标准号SJ/T 11505-2015

标准状态现行

发布日期2015-04-30

实施日期2015-10-01

中国标准分类号H83 化合物半导体材料

国际标准分类号29.045 半导体材料

发布部门工业和信息化部

技术归口全国半导体设备和材料标准化技术委员会

起草单位信息产业专用材料质量监督检验中心、工业和信息化部电子工业标准化研究院、合肥晶桥光电材料有限公司等

起草人何秀坤、李静、陈俊等

本标准规定了衬底和红外探测器窗口用蓝宝石单晶抛光片的技术要求、测试方法、检验规则、标志、包装运输和贮存等内容。标准适用于泡生法和直拉法生长的蓝宝石单晶抛光片，其它方法生长的蓝宝石单晶抛光片也可参照本标准。