碳化硅单晶晶向的测试方法

SJ/T 11500-2015现行行业标准

标准状态

发布于：2015-04-30

实施于：2015-10-01

废止

标准号SJ/T 11500-2015

标准状态现行

发布日期2015-04-30

实施日期2015-10-01

中国标准分类号H83 化合物半导体材料

国际标准分类号29.045 半导体材料

发布部门工业和信息化部

技术归口全国半导体设备和材料标准化技术委员会

起草单位中国电子科技集团公司第四十六研究所、工业和信息化部电子工业标准化研究院

起草人丁丽、郝建民、周智慧等

本标准规定了利用X射线衍射定向法测定碳化硅单晶晶向的方法。本标准适用于晶型为6H和4H的碳化硅单晶的晶向测定。