硅中间隙氧的转换因子指南
标准状态
发布于：2015-04-30
实施于：2015-10-01
废止
基本信息
SJ/T 11495-2015
现行
2015-04-30
2015-10-01
工业和信息化部
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
信息产业专用材料质量监督检验中心、工业和信息化部电子工业标准化研究院、苏州晶瑞化学有限公司等
李静、何秀坤、刘兵 等
标准简介
本标准规定了硅中间隙氧的转换因子指南。 标准适用于在室温下测试电阻率大于0.1Ω·cm的n型硅单晶和电阻率大于0.5Ω·cm的p型硅单晶中间氧含量。
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