电子工业用显影液中甲醇的测定顶空气相色谱法

SJ/T 11634-2016现行行业标准

标准状态

发布于：2016-04-05

实施于：2016-09-01

废止

标准号SJ/T 11634-2016

标准状态现行

发布日期2016-04-05

实施日期2016-09-01

中国标准分类号L90 电子技术专用材料

国际标准分类号31.030 电子技术专用材料

发布部门工业和信息化部

技术归口全国半导体设备和材料标准化技术委员会

起草单位杭州格林达化学有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院

起草人陈玉英、尹云舰、黄德新等

本标准规定了用顶空气相色谱法测定电子工业用显影液中甲醇含量的方法。本标准适用于电子工业用显影液中甲醇含量的测定。本方法甲醇最低检测浓度为1mg/kg。