喷雾式涂覆设备通用规范

SJ/T 11576-2016现行行业标准

标准状态

发布于：2016-01-15

实施于：2016-06-01

废止

标准号SJ/T 11576-2016

标准状态现行

发布日期2016-01-15

实施日期2016-06-01

中国标准分类号L95 电子工业生产设备综合

国际标准分类号31.550

发布部门工业和信息化部

技术归口全国半导体设备和材料标准化技术委员会

起草单位沈阳芯源微电子设备有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院

起草人贺立波、徐春旭、汪明波等

本规范规定了喷雾式涂设备（以下简称“设备”）的术语和定义、产品分类、要求、检验方法、检验规则、标志、包装、运输、储存及使用说明书等。本规范适用于半导体分立器件与集成电路制造过程中，在基片表面通过喷雾式涂覆形成均匀胶膜的设备。