薄膜晶体管(TFT)用掩模版规范
标准状态
发布于：2015-04-30
实施于：2015-10-01
废止
基本信息
SJ/T 11516-2015
现行
2015-04-30
2015-10-01
工业和信息化部
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
深圳清溢光电股份有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院
万承华、张沛、熊启龙 等
标准简介
本标准规定了薄膜晶体管（TFT）用掩模版产品的技术要求、试验方法、检验规则以及包装、运输和储存。
内容预览
本标准规定了薄膜晶体管（TFT）用掩模版产品的技术要求、试验方法、检验规则以及包装、运输和储存。