电子化学品电感耦合等离子体质谱法通则

SJ/T 11637-2016现行行业标准

标准状态

发布于：2016-10-22

实施于：2017-01-01

废止

标准号SJ/T 11637-2016

标准状态现行

发布日期2016-10-22

实施日期2017-01-01

中国标准分类号L90 电子技术专用材料

国际标准分类号31.030 电子技术专用材料

发布部门工业和信息化部

技术归口全国半导体设备和材料标准化技术委员会

起草单位杭州格林达化学份有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院

起草人尹云航、陈玉英、周利超等

本标准规定了用电感耦合等离子体质谱法测定电子化学品中金属离子的测定方法。本标准适用于电子化学品中多种金属元素的测定。本标准适用于痕量测定，推荐直接进样检测的浓度小于1000μg/kg。本标准不适用于固体直接进样。