电子化学品中颗粒的测试方法

SJ/T 11638-2016现行行业标准

标准状态

发布于：2016-10-22

实施于：2017-01-01

废止

标准号SJ/T 11638-2016

标准状态现行

发布日期2016-10-22

实施日期2017-01-01

中国标准分类号L90 电子技术专用材料

国际标准分类号31.030 电子技术专用材料

发布部门工业和信息化部

技术归口全国半导体设备和材料标准化技术委员会

起草单位杭州格林达化学份有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院

起草人尹云航、陈玉英、裴会川等

本标准规定了用激光粒子计数法测定液体电子化学品中颗粒的方法。本标准适用于液体电子化学品中颗粒的连续式或单次检测计数，测定的粒径有0.1μm～1.0μm可选。测定的电子化学品的颖粒浓度为(0-10000)每毫升/个，其他粒径的可参考执行。