硅多晶断面夹层化学腐蚀检验方法

Polycrystalline silicon--Examination method--Assessment of sandwiches on cross-section by chemical corrosion

GB/T 4061-1983已废止国家标准

标准状态

发布于：1983-12-20

实施于：1984-12-01

已废止

标准号GB/T 4061-1983

标准状态已废止

发布日期1983-12-20

实施日期1984-12-01

中国标准分类号H25 金属化学性能试验方法

国际标准分类号77.040.30 金属材料化学分析

主管部门国家标准化管理委员会

技术归口全国半导体设备和材料标准化技术委员会

起草单位峨嵋半导体材料厂