硅单晶间隙氧和代位碳含量标准样品

GSB 04-3948-2022已废止国家标准

标准状态

发布于：2021-06-25

实施于：2022-08-02

已废止

标准号GSB 04-3948-2022

标准状态已废止

发布日期2021-06-25

实施日期2022-08-02

发布部门全国标准样品技术委员会有色金属分会

技术归口全国标准样品技术委员会

起草单位有研半导体硅材料股份公司

GB/T 1557-2018、GB/T1558-2009