真空卷绕镀膜设备通用技术要求

Generic specification for vacuum roll-to-roll coating plant

T/GVS 010-2022现行团体标准

标准状态

发布于：2022-09-23

实施于：2022-09-23

废止

标准号T/GVS 010-2022

标准状态现行

发布日期2022-09-23

实施日期2022-09-23

中国标准分类号J78 真空技术与设备

国际标准分类号23.160 真空技术

发布部门广东省真空学会

团体名称广东省真空学会

起草单位广东腾胜科技创新有限公司、中山凯旋真科技股份有限公司、广东生波尔光电技术有限公司

起草人朱刚毅、朱刚劲、杨容军、陈家发、吴洽、李晓刚、姜翠宁、徐从高

本文件规定了真空卷绕镀膜设备通用技术要求的术语和定义、组成、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本文件适用于真空蒸发卷绕镀膜设备、真空磁控溅射卷绕镀膜设备、真空化学气相沉积（CVD）卷绕镀膜设备。