锗单晶位错腐蚀坑密度测量方法

Germanium monocrystal - inspection of dislocation etch pit density

GB/T 5252-2006已废止国家标准

标准状态

发布于：2006-07-18

实施于：2006-11-01

已废止

标准号GB/T 5252-2006

标准状态已废止

发布日期2006-07-18

实施日期2006-11-01

中国标准分类号H17 半金属及半导体材料分析方法

国际标准分类号77.040.01 金属材料试验综合

主管部门中国有色金属工业协会

发布部门中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

技术归口中国有色金属工业协会

代替标准GB/T 5252-1985

起草单位北京有色金属研究总院

起草人余怀之、刘建平

本标准适用于位错密度0cm-2～100 0000cm-2的n型和p型锗单晶棒或片的位错密度或其他缺陷的测量．观察面为(111)(100)(113)面。