射频电源动态阻抗测试方法

Test method for dynamic impedance of RF generator

T/GVS 007-2022现行团体标准

标准状态

发布于：2022-07-11

实施于：2022-07-11

废止

标准号T/GVS 007-2022

标准状态现行

发布日期2022-07-11

实施日期2022-07-11

中国标准分类号K80 电源综合

国际标准分类号19.080 电工和电子试验

发布部门广东省真空学会

团体名称广东省真空学会

起草单位深圳市恒运昌真空技术有限公司、广东工业大学、大连理工大学、拓荆科技股份有限公司

起草人乐卫平、林伟群、姚志毅、唐亚海、林桂浩、黄永镇、刘涛、张桂东、张赛谦、郭冬、高飞

本文件规定了射频电源动态阻抗测试方法的术语和定义、原理、测试环境条件、仪器设备、测试方法、测试报告。本文件适用于半导体刻蚀、薄膜沉积等应用场合中，输出频率0.2 MHz～100 MHz的射频电源动态阻抗测试。