蒸发镀膜设备基本参数系列

SJ/T 11131-1997已废止行业标准

标准状态

发布于：1997-09-02

实施于：1998-01-01

已废止

标准号SJ/T 11131-1997

标准状态已废止

发布日期1997-09-02

实施日期1998-01-01

中国标准分类号L95 电子工业生产设备综合

国际标准分类号31.020 电子元器件综合

发布部门电子工业部

本标准规定了蒸发镀膜设备基本参数系列。本标准适用于极限压力为3×10^(-3)P|(a)～5×10^(-6)P|(a)范围内的钟罩式和箱式蒸发镀膜设备。