基于光谱反演的光学薄膜常数测试方法

Testing method of optical constants for0ptical thin films based on spectro-photo-metric method

T/CSTM 00313-2021现行团体标准

标准状态

发布于：2021-10-18

实施于：2022-01-18

废止

标准号T/CSTM 00313-2021

标准状态现行

发布日期2021-10-18

实施日期2022-01-18

中国标准分类号N35 光学测试仪器

国际标准分类号17.180.01 光学和光学测量综合

发布部门中关村材料试验技术联盟

团体名称中关村材料试验技术联盟

起草单位西南技术物理研究所、中国科学院上海光学精密机械研究所

起草人马孜、姚德武、封巍、罗舒、郑环其、李斌成、易葵、张伟丽、赵元安

本文件规定了采用光谱法测定单层光学薄膜的光谱特性，并以此反演出膜层光学常数的测试方法。本文件适用于50nm～5000nm的介质光学薄膜和基片，薄膜为氧化物、氟化物、硫化物等化合物，基片为各种可见光透明光学玻璃、可见光透明各向同性晶体。