碳化硅单晶

Monocrystalline silicon carbide

T/IAWBS 001-2021现行团体标准

标准状态

发布于：2021-09-16

实施于：2021-09-23

废止

标准号T/IAWBS 001-2021

标准状态现行

发布日期2021-09-16

实施日期2021-09-23

中国标准分类号H80-84 半金属与半导体材料

国际标准分类号29.045 半导体材料

发布部门中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟

团体名称中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟

起草单位中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟、北京天科合达半导体股份有限公司

起草人佘宗静、王大军、彭同华、王波、刘春俊、杨建

本文件规定了4H及6H碳化硅单晶的必要的相关性术语和定义、产品分类、技术要求、检测方法、检测规则以及标志、包装、运输、贮存等。本文件适用于物理气相传输法制备的4H及6H碳化硅单晶。产品主要用于制作半导体照明、电力电子器件、射频微波器件及LED发光器件的外延衬底。