半导体级碳化硅单晶用超高纯石墨粉

Ultra-high purity graphite powder for semiconductor silicon carbide crystal

T/ZZB 2283-2021现行团体标准

标准状态

发布于：2021-08-26

实施于：2021-09-26

废止

标准号T/ZZB 2283-2021

标准状态现行

发布日期2021-08-26

实施日期2021-09-26

中国标准分类号Q53 特殊炭素材料

国际标准分类号29.050 导体材料

发布部门浙江省品牌建设联合会

团体名称浙江省品牌建设联合会

起草单位中钢新型材料股份有限公司、冶金工业信息标准研究院

起草人杨辉、肖绍懿、姜阅、吴厚政、张逊熙、王晓远、朱东锋、徐建平、毛玉珍、刘升、潘小平、王鑫鑫、周童、汪彦龙

本文件规定了半导体级碳化硅单晶用超高纯石墨粉的术语和定义、材料规格说明、基本要求、技术要求、试验方法、检验规则、标识、包装、运输和贮存、质量承诺。本文件适用于纯度达到5N（99.999wt%）以上的半导体级碳化硅单晶用石墨粉。