薄膜应力测定基片弯曲法

Determination of the film stress—Substrate curvature method

T/SZMES 3-2021现行团体标准

标准状态

发布于：2021-05-28

实施于：2021-06-01

废止

标准号T/SZMES 3-2021

标准状态现行

发布日期2021-05-28

实施日期2021-06-01

中国标准分类号A29 材料防护

国际标准分类号25.220.01 表面处理和镀涂综合

发布部门深圳市机械工程学会

团体名称深圳市机械工程学会

起草单位深圳职业技术学院、天津职业技术师范大学、深圳市速普仪器有限公司、深圳大学、深圳市机械工程学会、深圳领威科技有限公司、广东省标准化研究院

起草人赵升升、廖强华、王红英、王铁钢、刘艳梅、张小波、杜建铭、章卫红、蔡恒志、梁舒洁、顾维鑫、汤悦荣

本文件规定了基于基片弯曲法的薄膜应力测定的术语和定义、测量原理、测量仪器、试样要求、测量条件、参数的确定、测量、薄膜应力计算及试验报告。本文件适用于基于基片弯曲法的薄膜应力测定。