铜铟镓硒太阳能电池薄膜溅射沉积设备

Sputter equipment for Cu-In-Ga-Se thin film solar cells

T/ZZB 1790-2020现行团体标准

标准状态

发布于：2020-11-06

实施于：2020-11-30

废止

标准号T/ZZB 1790-2020

标准状态现行

发布日期2020-11-06

实施日期2020-11-30

中国标准分类号J57 插、拉、刨、锯床

国际标准分类号23.160 真空技术

发布部门浙江省品牌建设联合会

团体名称浙江省品牌建设联合会

起草单位浙江上方电子装备有限公司。本标准参与起草单位（排名不分）：浙江方正轻纺机械检测中心有限公司、慈溪市长信真空设备厂（普通合伙）

起草人来华杭、周海龙、蔡好、袁海萍、洪东、陈敏、虞跃华、王晨、姚亮

本文件规定了铜铟镓硒太阳能电池薄膜溅射沉积设备的术语和定义、结构与使用环境、基本要求、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存及质量承诺。本文件适用于铜铟镓硒太阳能电池薄膜溅射沉积设备（以下简称“设备”）。