电子工业用气体氧硫化碳

Gas for electronic industry—Carbonyl sulfide

T/DLSHXH 007-2020现行团体标准

标准状态

发布于：2020-09-30

实施于：2020-10-30

废止

标准号T/DLSHXH 007-2020

标准状态现行

发布日期2020-09-30

实施日期2020-10-30

中国标准分类号G85 其他化工产品综合

国际标准分类号71.100.20 工业气体

发布部门大连市石油和化工行业协会

团体名称大连市石油和化工行业协会

起草单位大连科利德光电子材料有限公司、大连石油和化工行业协会

起草人施旖旎、裴凯、石琳、毕聪智、王明月、孙瑞玉

本标准规定了电子工业用气体氧硫化碳的技术要求、试验方法、检验规则及产品的标志、包装、贮运及安全要求。本标准适用于于以工业氧硫化碳为原料经纯化制备的电子工业用气体氧硫化碳。电子工业用气体氧硫化碳主要用于集成电路领域。