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电子工业用气体 溶解乙炔

Gas for electronic industry—Acetylene

T/DLSHXH 005-2020现行团体标准

标准状态

发布于:2020-09-30
实施于:2020-10-30
废止

基本信息

T/DLSHXH 005-2020
现行
2020-09-30
2020-10-30
G85 其他化工产品综合
71.100.20 工业气体
大连市石油和化工行业协会
大连市石油和化工行业协会
大连科利德光电子材料有限公司、大连石油和化工行业协会、沈阳拓荆科技有限公司
施旖旎、寻虎、冯凯、李文博、徐雪婷、孙瑞玉

标准简介

本标准规定了电子工业用气体溶解乙炔的技术要求、试验方法、检验规则及产品的标志、包装、贮运及安全要求。 本标准适用于以工业乙炔为原料经纯化制备的电子工业用气体溶解乙炔。电子工业用气体溶解乙炔主要用于半导体领域。

内容预览

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