半导体集成电路制造业晶圆绿色工厂评价要求

Assessment requirements for green factory in semiconductor integrated circuit manufacturing － Wafer

T/CESA 1081-2020现行团体标准

标准状态

发布于：2020-06-20

实施于：2020-06-20

废止

标准号T/CESA 1081-2020

标准状态现行

发布日期2020-06-20

实施日期2020-06-20

中国标准分类号Z04 基础标准与通用方法

国际标准分类号13.020.01 环境和环境保护综合

发布部门中国电子工业标准化技术协会

团体名称中国电子工业标准化技术协会

起草单位中国电子技术标准化研究院、北京赛西认证有限责任公司、中芯北方集成电路制造（北京）有限公司、中国电子信息产业发展研究院、中芯国际集成电路制造(天津)有限公司、施耐德电气（中国）有限公司上海分公司

起草人李胡升、马传辉、洪洋、杨檬、杨宇涛、阳平、宋英华、闻洪春、赵立华、刘果果、黄明燕、赵丽华

本标准规定了半导体集成电路制造业晶圆绿色工厂评价(以下简称“评价”)的原则、方法、指标体系及要求、程序等。本标准适用于对具有晶圆大小为8英寸或12英寸的半导体集成电路晶圆产品实际生产过程的工厂进行评价，其他类型集成电路产品生产制造工厂也可参考使用。