7N 光电子级超纯氨
7N photoelectric class hyperpure ammonia
标准状态
发布于：2019-11-27
实施于：2019-12-31
废止
基本信息
T/ZZB 1373-2019
现行
2019-11-27
2019-12-31
浙江省品牌建设联合会
浙江省品牌建设联合会
海宁市英德赛电子有限公司、浙江理工大学、嘉兴学院、杭州士兰明芯科技有限公司
陈树大、戚栋明、周春阳、朱盛霞、周平、彭昆鹏、查春峰、潘佳伟、卢勇华、 王龙、赵晓兰、陈华燕
标准简介
本标准规定了7N光电子级超纯氨的基本要求、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮运及安全要求和质量承诺。 本标准规定的产品氨适用于半导体工业，氮化硅、氮化镓的化学气相沉积，也可用于硅或氧化硅的氮化等生产工艺所使用的氨气。 分子式:NH3。 相对分子质量:17.031（按2016年国际相对原子量）。
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