电子级八氟环丁烷
Electronic grade perfluorocyclobutane
标准状态
发布于:2019-10-29
实施于:2020-01-29
废止
基本信息
T/CCGA 30004-2019
现行
2019-10-29
2020-01-29
中国工业气体工业协会
中国工业气体工业协会
苏州金宏气体股份有限公司、中国工业气体工业协会
金向华、许军州、洑春干、周宝军、魏入铎、庄坤华、宋芳芳
标准简介
本标准规定了电子级八氟环丁烷产品的分类和型号,技术要求,试验方法,检验规则,标志、包装、运输、贮存等。 本标准适用于工业八氟环丁烷通过吸附纯化、精馏提纯生产的电子级八氟环丁烷产品。该产品是电子行业蚀刻气体。