超纯三氟化氮

Ultra pure nitrogen trifluoride

T/CCGA 30003-2019现行团体标准

标准状态

发布于：2019-10-29

实施于：2020-01-29

废止

标准号T/CCGA 30003-2019

标准状态现行

发布日期2019-10-29

实施日期2020-01-29

中国标准分类号G86 工业气体与化学气体

国际标准分类号71.100.20 工业气体

发布部门中国工业气体工业协会

团体名称中国工业气体工业协会

起草单位中国船舶重工集团公司第七一八研究所、中国工业气体工业协会

起草人郑秋艳、李翔宇、洑春干、孟祥军、孙秋丽、袁瑞玲、胡帅、曹红梅、宋芳芳

本标准规定了瓶装超纯三氟化氮的技术要求、试验方法、检验规则及包装、标志、运输、储存和安全。本标准适用于电解合成粗品三氟化氮，通过精馏提纯生产的超纯三氟化氮。它主要用作电子工业中等离子体工艺蚀刻剂和化学气相沉积的清洗剂。