200 mm重掺磷直拉硅单晶抛光片

200 mm heavily phosphorus-doped single crystalline Czochralski silicon polished wafers

T/ZZB 0648-2018现行团体标准

标准状态

发布于：2018-10-19

实施于：2018-11-01

废止

标准号T/ZZB 0648-2018

标准状态现行

发布日期2018-10-19

实施日期2018-11-01

中国标准分类号H82 元素半导体材料

国际标准分类号29.045 半导体材料

发布部门浙江省品牌建设联合会

团体名称浙江省品牌建设联合会

起草单位浙江金瑞泓科技股份有限公司、金瑞泓科技（衢州）有限公司

起草人许峰、朱华英、陈平人、田达晰、梁兴勃、刘红方、李方虎、李艳玲

本标准规定了200mm重掺磷直拉硅单晶抛光片的术语和定义、产品分类、基本要求、技术要求、试验方法、检验规则、包装、标志、运输和贮存、订货单（或合同）内容和质量承诺。本标准适用于以电子级多晶硅为主要原材料，采用直拉法制备的直径为200mm的硅单晶抛光片。产品主要用于集成电路、分立器件用外延片的衬底。