氧化锌铝磁控溅射靶材

Alumium doped zinc oxide magnetron sputtering targets

T/ZZB 0639-2018现行团体标准

标准状态

发布于：2018-10-19

实施于：2018-11-01

废止

标准号T/ZZB 0639-2018

标准状态现行

发布日期2018-10-19

实施日期2018-11-01

中国标准分类号H72 粉末冶金材料与制品

国际标准分类号81.060.30 高级陶瓷

发布部门浙江省品牌建设联合会

团体名称浙江省品牌建设联合会

起草单位宁波森利电子材料有限公司、宁波市标准化研究院、中国科学院宁波材料技术与工程研究所、国标（北京）认证有限公司、汉能装备科技集团有限公司、北京安泰六九新材料科技有限公司、世泰科特种材料（太仓）有限公司

起草人杨晔、周山山、何伟、兰品军、朱永明、李翔、宋伟杰、李勇、马通达、杨立红、宋云娜、张凤戈、夏黎海

本标准规定了氧化锌铝磁控溅射靶材的术语和定义、基本要求、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存、质量承诺等。本标准适用于粉末冶金生产的用于磁控溅射沉积节能Low-E玻璃的功能介质层以及薄膜太阳能电池透明电极层等膜层的氧化锌铝磁控溅射靶材。