二维材料厚度测量原子力显微镜法

Thickness measurements of two-dimensional materials Atomic force microscopy (AFM)

T/CSTM 00003-2019现行团体标准

标准状态

发布于：2019-01-03

实施于：2019-02-01

废止

标准号T/CSTM 00003-2019

标准状态现行

发布日期2019-01-03

实施日期2019-02-01

中国标准分类号A00 标准化、质量管理

国际标准分类号07.030 物理学、化学

发布部门中关村材料试验技术联盟

团体名称中关村材料试验技术联盟

起草单位中国计量科学研究院、北京市理化分析测试中心、广州特种承压设备检测研究院、布鲁克（北京）科技有限公司、江南石墨烯研究院、纳米技术及应用国家工程研究中心、上海交通大学分析测试中心、中国计量大学

起草人卜天佳、任玲玲、姚雅萱、张梅、魏晓晓、尹宗杰、黎佩珊、仇登利、魏岳腾、董国材、张小敏、何丹农、张迎、陶兴付、李慧琴、吴琼、张晶晶

本标准规定了二维材料厚度测量原子力显微镜法的原理、仪器设备、样品前处理、测试方法、厚度计算方法、测量结果的不确定度评定及测试报告。本标准适用于可以与基底形成台阶的二维材料厚度测量。