微纳加工离子束辐照应变诱导三维纳米结构与器件的加工方法

Micro/nano fabrication The fabrication of 3D nanostructures formed by strain via ion beam irradiation

T/BSPT 002-2018现行团体标准

标准状态

发布于：2018-06-20

实施于：2018-07-01

废止

标准号T/BSPT 002-2018

标准状态现行

发布日期2018-06-20

实施日期2018-07-01

中国标准分类号A28 筛分、筛板与筛网

国际标准分类号19.020 试验条件和规程综合

发布部门北京粉体技术协会

团体名称北京粉体技术协会

起草单位中国科学院物理研究所

起草人顾长志、刘哲、李无瑕、杨海方、李俊杰

本标准规定了利用离子束辐照应变诱导技术构筑三维纳米结构与器件的加工方法。本标准适用于利用离子束辐照操控纳米线和薄膜的空间应变，进而实现三维空间中由一维纳米线和二维薄膜构成的三维纳米结构与器件。