微纳加工基于激光诱导应变的大面积表面三维微纳结构加工方法

Micro/nanofabrication Large-area Surface Three-dimensional Micro/nanostructure Fabrication Method Based on Laser-induced Strain

T/BSPT 001-2018现行团体标准

标准状态

发布于：2018-06-20

实施于：2018-07-01

废止

标准号T/BSPT 001-2018

标准状态现行

发布日期2018-06-20

实施日期2018-07-01

中国标准分类号A28 筛分、筛板与筛网

国际标准分类号19.020 试验条件和规程综合

发布部门北京粉体技术协会

团体名称北京粉体技术协会

起草单位国家纳米科学中心、南方科技大学

起草人刘前、张浩然、郭传飞、葛广路

本标准规定了基于激光诱导应变的大面积表面三维微纳结构加工方法。本标准适用于在晶元级表面上，利用激光诱导调控多层膜体系的应变结构，设计并制备各种表面三维微纳结构。