洁净机器人通用技术条件
General specifications of clean-room robot
标准状态
发布于：2019-05-10
实施于：2019-12-01
废止
基本信息
GB/T 37416-2019
现行
2019-05-10
2019-12-01
中国机械工业联合会
国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
中国机械工业联合会
沈阳新松机器人自动化股份有限公司、中国科学院沈阳自动化研究所、大连理工大学、中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司、北京北方华创微电子装备有限公司、北京机械工业自动化研究所有限公司、东北大学、沈阳芯源微电子设备有限公司、北京锐洁机器人科技有限公司
徐方、邹风山、王金涛、唐忠华、张锋、秦修功、洪旭东、刘在行、尹作重、李志海、谭学科、边弘晔、吴成东、丛明
标准简介
本标准规定了洁净机器人的产品分类、性能、技术要求、试验方法及标志、使用说明书、包装、运输及贮存等。 本标准适用于在洁净室使用的，在大气或真空环境中执行搬运等任务的洁净机器人。
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