制备氮化物半导体材料用氢化物气相外延设备

Equipment for preparation of nitride semiconductor materials by hydride vapor phase epitaxy

GB/T 36646-2018现行国家标准

标准状态

发布于：2018-09-17

实施于：2019-01-01

废止

标准号GB/T 36646-2018

标准状态现行

发布日期2018-09-17

实施日期2019-01-01

中国标准分类号L95 电子工业生产设备综合

国际标准分类号31.220 电子电信设备用机电元件

主管部门国家标准委

发布部门国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会

技术归口国家标准委

起草单位东莞市中镓半导体科技有限公司、中国电子技术标准化研究院

起草人刘鹏、孙永健、王健辉、丁晓民、冯亚彬

本标准规定了制备氮化物半导体材料用氢化物气相外延设备（以下简称“HVPE设备”）的产品分类和标记、工作条件、要求、检测方法、检验规则、标志、包装、运输和储存。本标准适用于制备直径50.8mm~152.4mm氮化物半导体材料的HVPE设备。