蓝宝石衬底片厚度及厚度变化测试方法

Standard test method for thickness and thickness variation on sapphire substrates

GB/T 30857-2014现行国家标准

标准状态

发布于：2014-07-24

实施于：2015-04-01

废止

标准号GB/T 30857-2014

标准状态现行

发布日期2014-07-24

实施日期2015-04-01

中国标准分类号H21 金属物理性能试验方法

国际标准分类号77.040 金属材料试验

主管部门国家标准委

发布部门中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

技术归口国家标准委

起草单位协鑫光电科技控股有限公司、浙江昀丰新能源科技有限公司、中国科学院上海光机所

起草人魏明德、黄朝晖、徐永亮、刘逸枫、杭寅

本标准规定了制备氮化镓薄膜外延片及其他用途的蓝宝石单晶切割片、研磨片、抛光片(简称衬底片)厚度和厚度变化是否满足标准限度要求的测试方法。本标准适用于蓝宝石衬底片厚度及厚度变化的测试。