硅基MEMS制造技术基于SOI硅片的MEMS工艺规范

Silicon-based MEMS fabrication technology—Specification for criterion of the SOI wafer based MEMS process

GB/T 32814-2016现行国家标准

标准状态

发布于：2016-08-29

实施于：2017-03-01

废止

标准号GB/T 32814-2016

标准状态现行

发布日期2016-08-29

实施日期2017-03-01

中国标准分类号L55 微电路综合

国际标准分类号31.200 集成电路、微电子学

主管部门国家标准委

发布部门中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

技术归口国家标准委

起草单位西北工业大学、中机生产力促进中心

起草人苑伟政、谢建兵、马志波、常洪龙、李海斌、乔大勇、刘伟

本标准规定了采用SOI硅片进行MEMS器件加工时应遵循的工艺要求和质量检验要求。本标准适用于硅基MEMS制造技术中基于S0I硅片的MEMS器件的加工和质量检验。