电子陶瓷用二氧化锆中杂质的发射光谱分析方法
标准状态
发布于：2021-03-05
实施于：2021-06-01
废止
基本信息
SJ/T 10553-2021
现行
2021-03-05
2021-06-01
工业和信息化部
全国半导体设备与材料标准化技术委员会
SJ/T 10553-1994
全国半导体设备与材料标准化技术委员会
中国电子技术标准化研究院
张旭、张理、裴会川
标准简介
本标准规定了电子陶瓷用二氧化锆中杂质的发射光谱分析方法。 本标准适用于电子陶瓷用二氧化锆中铁、硅、磷、钙、镁和钛的氧化物杂质测定的中型摄谱仪方法。
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