硅片径向电阻率变化的测量方法

Standard method for measuring radial resistivity variation on silicon slices

GB/T 11073-1989已废止国家标准

标准状态

发布于：1989-03-31

实施于：1990-02-01

已废止

标准号GB/T 11073-1989

标准状态已废止

发布日期1989-03-31

实施日期1990-02-01

中国标准分类号H21 金属物理性能试验方法

主管部门中国有色金属工业协会

技术归口中国有色金属工业协会

起草单位峨嵋半导体材料研究所