电镀溶液成分分析方法
标准状态
发布于：2022-10-20
实施于：2023-01-01
废止
基本信息
SJ/T 11860-2022
现行
2022-10-20
2023-01-01
工业和信息化部
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
中国电子技术标准化研究所、上海新阳半导体材料股份有限公司
曹可慰、吴怡然、李小娟、管琪、付雪涛、王振荣
标准简介
本文件规定了电镀溶液分析方法的一般要求，各种金属电镀溶液成分分析方法。 本文件适用于电镀溶液的检验。
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