太阳能电池用硅片厚度及总厚度变化测试方法
Test method for thickness and total thickness variation of silicon wafers for solar cell
标准状态
发布于:2014-07-24
实施于:2015-02-01
废止
基本信息
GB/T 30869-2014
现行
2014-07-24
2015-02-01
国家标准委
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
国家标准委
东方电气集团峨嵋半导体材料有限公司、乐山新天源太阳能科技有限公司、有研半导体材料股份有限公司、青洋电子材料有限公司
何紫军、冯地直、陈琳、荆旭华、程宇、黎阳、刘卓
标准简介
本标准规定了太阳能电池用硅片(以下简称硅片)厚度及总厚度变化的分立式和扫描式测量方法。 本标准适用于符合GB/T 26071、GB/T 29055规定尺寸的硅片的厚度及总厚度变化的测量,分立式测量方法适用于接触式及非接触式测量,扫描式测量方法只适用于非接触式测量。在测量仪器准许的情况下,本标准也可用于其他规格硅片的厚度及总厚度变化的测量。