表面化学分析 溅射深度剖析 用层状膜系为参考物质的优化方法
Surface chemical analysis-Sputter depth profiling-Optimization using layered systems as reference materials
标准状态
发布于：2006-03-27
实施于：2006-11-01
已废止
基本信息
GB/T 20175-2006
已废止
2006-03-27
2006-11-01
中国科学院
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
中国科学院
清华大学电子工程系
查良镇、陈旭、黄天斌、刘林、王光普、黄雁华
标准简介
为使俄歇电子能谱、X射线光电子能谱和二次离子质谱的仪器设定达到深度分辨的优化目的，本标准采用适当的单层和多层膜系参考物质，提供优化溅射深度剖析参数的指南。 特殊多层膜系的使用不包括在本标准内。
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