硅外延层和扩散层厚度测定磨角染色法

YS/T 15-2015现行行业标准

标准状态

发布于：2015-04-30

实施于：2015-10-01

废止

标准号YS/T 15-2015

标准状态现行

发布日期2015-04-30

实施日期2015-10-01

中国标准分类号H21 金属物理性能试验方法

国际标准分类号77.040 金属材料试验

发布部门工业和信息化部

技术归口全国有色金属标准化技术委员会

代替标准YS/T 15-1991

起草单位南京国盛电子有限公司、有研新材料股份有限公司、上海晶盟硅材料有限公司

起草人马林宝、杨帆、葛华等

本标准适用于外延层和扩散层与衬底导电类型不同或两层电阻率相差至少一个数量级的任意电阻率的硅外延层和扩散层厚度的测量，测量范围：1μm～100μm。