高精度超洁净晶圆电化学电镀腔体网格盘生产制造规范

T/QGCML 4573-2024现行团体标准

标准状态

发布于：2024-08-12

实施于：2024-08-27

废止

标准号T/QGCML 4573-2024

标准状态现行

发布日期2024-08-12

实施日期2024-08-27

中国标准分类号H80 半金属与半导体材料综合

国际标准分类号31.020 电子元器件综合

发布部门全国城市工业品贸易中心联合会

团体名称全国城市工业品贸易中心联合会

起草单位常熟市兆恒众力精密机械有限公司、苏州市兆丰精密机械有限公司、苏州新意精密机械有限公司

起草人罗中平、雷超、赵鹏志

本文件规定了高精度超洁净晶圆电化学电镀腔体网格盘生产制造规范的术语和定义、缩略语、场地和人员、设备、材料、加工流程、成品质量、环境保护、安全。本文件适用于高精度超洁净晶圆电化学电镀腔体网格盘（以下简称“网格盘”）的生产制造。