表面化学分析 二次离子质谱 用多δ层参考物质评估深度分辨参数的方法
Surface chemical analysis - Secondary-ion mass spectrometry - Method for estimating depth resolution parameters with multiple delta-layer reference materials
标准状态
发布于：2008-12-11
实施于：2009-10-01
废止
基本信息
GB/T 22572-2008
现行
2008-12-11
2009-10-01
中国科学院
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
中国科学院
信息产业部专用材料质量监督检验中心
马农农、何友琴、何秀坤
标准简介
本标准详细说明了在SIMS深度剖析中，用多δ层参考物质评估前沿衰变长度、后沿衰变长度和高斯展宽三个深度分辨参数的步骤。由于样品表面的物理和化学态受一次入射离子影响而不稳定，本标准不适用于近表面区域的δ层。
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