金刚石单晶表面应力分布测定拉曼光谱法

Measurement of surface stress distribution of diamond single crystal-Raman spectroscopy method

T/IAWBS 023-2025现行团体标准

标准状态

发布于：2025-09-24

实施于：2025-10-10

废止

标准号T/IAWBS 023-2025

标准状态现行

发布日期2025-09-24

实施日期2025-10-10

国际标准分类号29.045 半导体材料

发布部门中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟

团体名称中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟

起草单位中国科学院半导体研究所，德州学院，堀场（中国）贸易有限公司，中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟，江苏卓远半导体有限责任公司，北京聚睿众邦科技有限公司，吉林大学，河南六面顶新材料科技有限公司

起草人曹繁秋、霍晓迪、金鹏、郑红军、李国平、闫方亮、屈鹏霏、王镇、沈婧、胡恩萍、李红东、刘祎晨，陈健

本文件规定了立方金刚石单晶表面应力分布的测试方法。本文件适用于立方金刚石单晶表面应力分布的测试。