高精度超洁净晶圆卡爪生产制造规范
标准状态
发布于：2024-08-12
实施于：2024-08-27
废止
基本信息
T/QGCML 4572-2024
现行
2024-08-12
2024-08-27
全国城市工业品贸易中心联合会
全国城市工业品贸易中心联合会
常熟市兆恒众力精密机械有限公司、苏州市兆丰精密机械有限公司、苏州新意精密机械有限公司
罗中平、雷超、赵鹏志
标准简介
本文件规定了高精度超洁净晶圆卡爪生产制造规范的术语和定义、场地和人员、设备、材料、加工流程、成品质量、环境保护、安全。 本文件适用于高精度超洁净晶圆卡爪（以下简称“卡爪”）的生产制造。
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