线宽标准样片校准规范
Linewidth Standard Sample Calibration Specification
标准状态
发布于：2024-05-14
实施于：2024-09-01
废止
基本信息
JJF（鄂）115-2024
现行
2024-05-14
2024-09-01
湖北省市场监督管理局
中国船舶集团有限公司第七〇九研究所、武汉大学
罗锦晖（中国船舶集团有限公司第七〇九研究所）、房斌（中国船舶集团有限公司第七〇九研究所）、张骋（中国船舶集团有限公司第七〇九研究所）、薄涛（中国船舶集团有限公司第七〇九研究所）、郑锋（中国船舶集团有限公司第七〇九研究所）、丁超（中国船舶集团有限公司第七〇九研究所）、梁康（武汉大学）、东芳（武汉大学）
标准简介
线宽标准样片（以下简称标准样片）是针对集成电路工艺参数测量设备，通过复现集成电路关键尺寸量值，通过扫描电子显微镜进行测量，在实际工作状态下对扫描电子显微镜完成校准。 标准样片是具备一个或多个典型值的专用标准样品，用于线宽测量仪器的校准。 本规范适用于线宽在 100nm~10μm 之间的线宽标准样片线宽的校准。
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