微束分析 扫描电子显微术 术语
Microbeam analysis - Scanning electron microscopy - Vocabulary
标准状态
发布于：2009-04-01
实施于：2009-12-01
已废止
基本信息
GB/T 23414-2009
已废止
2009-04-01
2009-12-01
国家标准委
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
国家标准委
中国科学院上海硅酸盐研究所
李香庭、曾毅
标准简介
本标准定义了扫描电子显微术(SEM)实践中使用的术语。包括一般术语和按技术分类的具体概念的术语，也包括已经在ISO 23833中定义的术语。 本标准适用于所有有关SEM实践的标准化文件。另外，本标准的某些术语定义，也适用于相关领域的文件〔例如：电子探针显微分析(EPMA)、分析电子显微术(AEM)、能谱法(EDX)等〕。
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