电子工业用气体磷化氢

Gas for electronic industry - Phosphine

GB/T 14851-2009已废止国家标准

标准状态

发布于：2009-10-30

实施于：2010-05-01

已废止

标准号GB/T 14851-2009

标准状态已废止

发布日期2009-10-30

实施日期2010-05-01

中国标准分类号G86 工业气体与化学气体

国际标准分类号71.100.20 工业气体

主管部门国家标准委

发布部门中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

技术归口国家标准委

代替标准GB/T 14851-1993

起草单位中国计量科学研究院、大连光明化工研究院、西南化工研究设计院

起草人周泽义、孙福楠、周鹏云

本标准规定了电子工业用磷化氢的技术要求，试验方法以及包装、标志、贮运及安全。本标准适用于亚磷酸热分解、磷化物水解、单质磷与水或碱反应等方法获得并经精制得到的磷化氢产品。它主要用于半导体器件和集成电路生产的外延、离子注入和掺杂。